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光芯片衬底材料:磷化铟(InP)产业格局梳理

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发表于 昨天 21:50 | 查看全部 |阅读模式
一.磷化铟概览

半导体材料可划分为三代:第一代硅(Si)、锗(Ge);第二代砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP);第三代碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)。

磷化铟是由铟和磷组成的IIIA-V族化合物半导体,其物理特性完美匹配高速光通信、高频电子领域需求,是不可替代的核心基底材料。

1.1 核心优势

(1)光电性能优异:直接带隙结构,发光波长精准覆盖光通信两大低损耗窗口(1310nm、1550nm),可高效实现光电转换,适配光通信场景。

(2)高频特性突出:高电子迁移率、高饱和漂移速度,可稳定支撑毫米波、太赫兹级高频信号处理,适配高端射频场景。

1.2 应用领域

(1)光通信:核心场景,占比超80%;是高速光模块中EML/DFB激光器、PIN/APD光电探测器的主流衬底材料。

(2)高频射频:用于车载激光雷达、卫星毫米波器件、太赫兹通信设备等场景。

1.3 主要短板

(1)成本高企:上游原料铟是铅锌冶炼的伴生稀散金属,提纯壁垒高、供给弹性低,仅适用于高附加值场景。

(2)制备难度大:大尺寸(6 英寸及以上)晶圆量产难度极高,且晶体脆性高导致加工难度大,进一步拉低良率。



二. 制备工艺及流程

磷化铟制备分为两大核心环节:单晶衬底制备(技术壁垒)、外延片制备(决定器件性能)。

2.1 衬底制备

(1)多晶合成:高纯铟和红磷在高压炉中反应生成磷化铟多晶锭。

(2)单晶生长:将多晶锭生长为低缺陷、高均匀性的单晶锭,主流工艺为液封直拉法(LEC)、垂直梯度凝固法(VGF)。

(3)衬底精加工:单晶锭经滚磨、切片、研磨、CMP、清洗、检测、封装等工序,制成标准合格衬底片。

2.2 外延片制备

外延生长是在磷化铟衬底基础上,通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)或分子束外延(MBE)工艺,生长出特定结构和功能的外延层薄膜,决定器件的电学和光学性能。

三.供应格局

全球格局:大尺寸磷化铟衬底呈寡头格局,住友电工(日)、AXTI(美)、JX金属(日)合计占据全球90%产能。

供需缺口:2025年全球磷化铟衬底需求约200-210万片,有效合规产能仅60-70万片,2027年供需缺口将进一步扩大。

国产替代进程:依托本土铟资源优势与半导体自主可控政策,国内企业加速技术突破,头部厂商已实现6英寸衬底量产,国产替代进入窗口期。

云南锗业:锗产业链龙头企业,旗下云南鑫耀为国内最大磷化铟衬底供应商,已实现6英寸衬底量产;现总产能15万片/年,30万片/年产线在建。

博杰股份:主营工业自动化设备,参股珠海鼎泰芯源(持股11%)布局磷化铟衬底,子公司博捷芯划片机可用于磷化铟衬底的精密切割工序。

光智科技:主营红外光学器件,26年6月拟3亿增资收购先锐科技50.08%股权,标的公司已启动年产40吨磷化铟晶体建设项目。

海川智能:主营自动衡器,26年6月拟1.3亿收购集溢半导体15.3%股权,其子公司大庆溢泰具备砷化镓、磷化铟等化合物半导体晶片产能。

兴业科技:主营天然牛皮革,26年6月拟5500万元收购青岛立昂旗下磷化铟衬底及半导体电子材料相关业务资产。

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